光刻膠選擇比是指顯影液與曝光的光刻膠反應的速度快慢,選擇比越高,反應速度越快,所以要比例高。
光刻膠顯影是指用化學顯影液溶解由曝光造成的光刻膠的可溶解區(qū)域,其主要目的是把掩膜版圖形準確復制到光刻膠中。