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問答題
【簡答題】例舉并解釋硅中固態(tài)雜質(zhì)擴(kuò)散的三個步驟。
答案:
硅中固態(tài)雜質(zhì)擴(kuò)散的三個步驟:
(1)預(yù)淀積:表面的雜質(zhì)濃度濃度最高,并隨著深度的加大而減小,從而形成梯度。這種...
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答案:
去除氮化硅使用熱磷酸進(jìn)行濕法化學(xué)剝離掉的。這種酸槽一般始終維持在160°C左右并對露出的氧化硅具有所希望的高選擇...
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